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邢臺市太和生物化學(xué)技術(shù)有限公司

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中科晶元取得砷化鎵晶圓用除氧托盤專利,擴大適用范圍

2026年02月21日 06:05
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國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,江蘇中科晶元信息材料有限公司取得一項名為“一種砷化鎵晶圓用除氧托盤”的專利,授權(quán)公告號CN223723283U,申請日期為2025年2月。

專利摘要顯示,本實用新型公開了一種砷化鎵晶圓用除氧托盤,具體涉及晶圓技術(shù)領(lǐng)域,包括用于砷化鎵晶圓除氧的底座,所述底座的頂面中部開設(shè)有放置槽,以放置砷化鎵晶圓,所述底座的外表面固定安裝有導(dǎo)向環(huán),所述導(dǎo)向環(huán)的外表面滑動連接有多個活動桿。本實用新型所述的一種砷化鎵晶圓用除氧托盤,在實際工作中,根據(jù)砷化鎵晶圓的直徑尺寸,對多個活動桿進行移動,以對多個限位板的位置進行調(diào)節(jié),并通過將第一螺紋緊固件插入重合后的固定孔與調(diào)節(jié)孔內(nèi),以將活動桿固定,將砷化鎵晶圓放置于放置槽內(nèi),通過第二螺紋緊固件將蓋板與底座進行連接,而蓋板內(nèi)部的壓板能夠避免砷化鎵晶圓從放置槽內(nèi)脫落,從而便于對不同直徑尺寸的砷化鎵晶圓進行安裝,擴大適用范圍。

天眼查資料顯示,江蘇中科晶元信息材料有限公司,成立于2012年,位于蘇州市,是一家以從事研究和試驗發(fā)展為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本5857.894767萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,江蘇中科晶元信息材料有限公司共對外投資了2家企業(yè),專利信息64條,此外企業(yè)還擁有行政許可7個。

聲明:市場有風(fēng)險,投資需謹慎。本文為AI基于第三方數(shù)據(jù)生成,僅供參考,不構(gòu)成個人投資建議。

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