國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,湖南頂立科技股份有限公司申請一項名為“一種分段式化學氣相沉積法制備高致密TaC涂層的方法”的專利,公開號CN121428657A,申請日期為2025年10月。專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種分段式化學氣相沉積法制備高致密TaC涂層的方法,所述方法包括以下步驟:S100、選用基體材料并進行預(yù)處理,去除基體材料表面雜質(zhì);S200、在第一預(yù)設(shè)溫度和第一預(yù)設(shè)壓力下,通過化學氣相沉積法在基體材料上沉積第一預(yù)設(shè)厚度且呈柱狀晶結(jié)構(gòu)的粗顆粒TaC層,構(gòu)建厚度骨架;S300、降溫降壓至第二預(yù)設(shè)溫度和第二預(yù)設(shè)壓力,在基體材料上沉積細小晶粒以填充粗顆粒TaC層中的空隙和裂紋,進而得到高致密TaC涂層。本發(fā)明通過分段CVD工藝,先高溫高壓快速積厚形成柱狀晶結(jié)構(gòu)的TaC層,為后續(xù)低溫低壓致密化沉